Laserové čistenie pre polovodičový priemysel

Ako sa polovodičová technológia neustále zmenšuje, pokročilé integrované obvody sa transformovali z planárnych na trojrozmerné štruktúry. Proces výroby integrovaných obvodov sa stáva čoraz zložitejším a často vyžaduje stovky alebo dokonca tisíce procesných krokov. Pre pokročilú výrobu polovodičových súčiastok bude po každom procese na povrchu kremíkového plátku viac alebo menej znečisťujúcich častíc, kovových zvyškov alebo organických zvyškov. Neustále zmenšovanie veľkosti prvkov zariadení a zvyšujúca sa zložitosť štruktúr trojrozmerných zariadení spôsobili, že polovodiče sú čoraz citlivejšie na kontamináciu časticami, koncentráciu a množstvo nečistôt.

Vyššie požiadavky boli kladené na technológiu čistenia kontaminovaných častíc na povrchu masky kremíkových plátkov. Kľúčovým bodom je prekonať obrovskú adsorpčnú silu medzi kontaminovanými časticami a substrátom. V súčasnosti mnoho výrobcov polovodičov používa metódy čistenia kyselinami. Umývanie a ručné utieranie sú nielen neefektívne, ale vytvárajú aj sekundárne znečistenie. Aký spôsob čistenia je teda v súčasnosti vhodnejší na čistenie polovodičových výrobkov? Laserové čistenie je v súčasnosti vhodnejšou metódou. Keď laser skenuje, všetky nečistoty na povrchu materiálu sa odstránia a nečistoty v medzerách sa odstránia. Dá sa ľahko odstrániť, nepoškriabe povrch materiálu a nespôsobí sekundárne znečistenie. Je to bezpečná voľba.

Okrem toho, keďže veľkosť zariadení s integrovanými obvodmi sa neustále zmenšuje, strata materiálu a drsnosť povrchu počas procesu čistenia sa stali problémami, ktorým je potrebné venovať pozornosť. Najzákladnejšou požiadavkou je odstránenie častíc bez straty materiálu a poškodenia vzoru. Laserová technológia čistenia má jedinečný kontakt, žiadny tepelný efekt, žiadne povrchové poškodenie čisteného predmetu a žiadne sekundárne znečistenie, čo sú neporovnateľné výhody tradičných metód čistenia. Je to najlepšia metóda čistenia na vyriešenie znečistenia polovodičových zariadení.